半導體晶（jīng）片加工的遊星輪，遊（yóu）星輪上均布有多個用於放置半導體晶片（piàn）的孔位,其中一個所述孔位的一側設置有用（yòng）於判斷半導體晶片起始放入位置的標識，以所述標識（shí）為（wéi）起（qǐ）點按一（yī）定的規則順序依次將半導體晶片放入相應的所（suǒ）述孔（kǒng）位中。本（běn）實用（yòng）新型準確的記錄了晶片在（zài）遊星輪中的實際位置，避免了晶片在遊星輪（lún）中的無序擺放。而半導體專遊星（xīng）輪在使用中遇到輪齒損耗快，易變性易被空氣腐蝕，導致使用壽（shòu）命短的（de）問題，而DLC類金剛石塗層工藝可以解決以（yǐ）上問題。

DLC塗層又稱類（lèi）金（jīn）剛石塗層，硬度高（gāo）(>HV2200)，幹摩擦（cā）係數低(0.05-0.1)。是（shì）一種無油（yóu）自潤滑塗層。DLC塗層厚度（dù）可達到0.55um，並以最新工藝使產品具有良好的潤滑、散熱（幹式）、絕緣防靜電、化學性能穩定（dìng）等（děng）性能（néng），使工件壽命可增加5-10倍，可提高600％工作效力，從而降低生產成本。

做了DLC處（chù）理的不鏽鋼遊星輪對酸堿（jiǎn）具有良好的抗腐蝕能力，適用於（yú）在磨（mó）拋過程含有酸堿性工藝的產品使（shǐ）用。耐磨性強以不鏽鋼遊星輪實際工作（zuò）為例（lì），連續工作 8500 轉;表麵無磨損,產品的（de）表（biǎo）麵維氏硬度（dù）達到 HV2800以上，由於遊星輪（lún）跟其他工件摩擦（cā），容易產生靜電，而做了（le）DLC塗層有（yǒu）防靜電絕緣性能，從而保護半導體（tǐ）芯片。從而，提高了半導體晶片加工的遊星輪的使用壽命。