一、DLC類金剛石塗層工藝（yì）流程

1、工件基體處理。這一步是比較重（chóng）要的，將工件拋光到小於Ra0.2um,塗覆處理後的工件才可得到滿（mǎn）意的表麵質量，這對成形一些具有（yǒu）光學（xué）性能要求的零件是非常（cháng）重要的，類似成形（xíng）光學鏡頭和成形（xíng）LED零件等。操作的時候需要注意基體表麵處理不（bú）能留（liú）有死角，這影響到膜層是否能與基體（tǐ）牢固地（dì）結合。

2、充分清洗。將要（yào）塗覆（fù）的工件進行充分清洗，塗覆的母材、質量水平和幾何形狀決定了清洗的工藝（yì）。工件裝（zhuāng）在設定的（de）夾具上，夾具是在（zài）使腔（qiāng）體裝載尺寸優化和保證塗（tú）覆均勻的基礎上設計的。清洗方法為真空室抽真（zhēn）空至10-6托(高真空)來排除係統中的任何汙染物，真空室中通入惰性氣體並使其離（lí）子化，導致產生輝光（guāng）放電(等離（lí）子體)，這是氣（qì）體清洗階段使零件（jiàn）做好金（jīn）屬沉澱準（zhǔn）備。

3、金屬沉澱。在用於沉澱的固體金屬上（指靶材）加（jiā）載高（gāo）電流、低電壓電弧，金（jīn）屬被蒸發並且瞬間離（lí）子化，屬離子在高能量的作用下通過惰性氣體（tǐ）或活性氣體進入（rù）腔體（tǐ）並沉澱在工件上。在金屬沉澱過程中蒸發了的金屬(靶（bǎ）材)保持不變。在激活的沉澱過程中，改變氣體的體積或種類將會（huì）改變膜層的（de）性質，形成（chéng）像碳化物、氮化物或氧化物（wù）的陶瓷。同樣，通過改變靶（bǎ）材的材質也可以產生（shēng）不同的膜層。

二、類金剛石塗層的質量檢驗

　　塗覆完成後，就要對成形工件的膜層（céng）質量進行檢驗，檢測膜層厚度是否均勻、工件的光澤、膜層（céng）是否出（chū）現分層及尺寸是否在控製範（fàn）圍內。如果膜層出現問題、厚度超差、結合力不強等問題需要及時（shí）解決，下麵91无码人妻精品一区二区蜜桃（men）來了解一下相應的解決辦法是什麽（me）吧（ba）!

1、檢驗膜層均勻度

　　檢（jiǎn）驗成形後的膜層（céng）如果出現光澤不（bú）均勻、有花紋（wén），應該是靶材的材質的純淨度不夠，雜質多就會導致膜層不均勻（yún）。也可能是塗覆設備（bèi）的故障。

　　解決辦法（fǎ）：所以如（rú）果檢（jiǎn）驗出了膜層的問題可以先檢測（cè）設備是否故障，如果設備穩定（dìng）正常的話則必須更換靶材（cái）。

2、檢驗膜層厚度

　　檢（jiǎn）驗膜層時（shí）如果發現厚度超差的情況，可能是處理（lǐ）時間（jiān）過長或過短所導致的。

　　解決辦法：在設備（bèi）穩定正常（cháng）的情況下（xià），膜層的厚度都是取決（jué）於成形的工藝時間，所以如果出現膜層超差（chà）的情況隻要調整處理時間就可以了。

3、檢驗結合力

　　檢驗膜層和工件基（jī）體之間的結合力（lì），結合力不強會出現分（fèn）層現象。導致這種問題的原因很多，比如工件清洗得（dé）不幹淨、不徹底，工件的基體沒有拋光到工藝要求或者存在缺陷，成形工藝參數不合理等。

　　解決辦法（fǎ）：如果出現這種情況（kuàng）的話需要一一排除（chú），找到真正的原因，從而解決基體與膜層分（fèn）層的問題，有時需（xū）要在工件上預先塗覆一層金屬來消除基體（tǐ）本身的缺陷。