類金剛石DLC薄膜是（shì）以sp3、sp2鍵結合（hé）為主體，這種結構使（shǐ）得（dé）DLC薄膜具有一係列優良的物（wù）理化學性能，如紅外波段透（tòu）明、硬度高、摩擦係數小、化學性能穩定、熱膨脹係數小等，從（cóng）而使該薄膜在光學、電學、機械、醫（yī）學等領域引起了科研工作者（zhě）的廣泛關注（zhù）。目前DLC塗層應用廣泛，接下來給（gěi）大家（jiā）整理一下關於DLC塗層的應用以及製作方式。

一（yī）、DLC薄膜的特性及應用 

     DLC薄膜的特殊結構決定了這種薄膜材（cái）料具有優（yōu）良的（de）特性和廣泛的應用，主要（yào）表現在:

1)較高的（de）硬度（dù）和優異的抗磨損性（xìng）能，因而（ér）適合作為硬質工具、軸承、刀具等表麵，不僅可（kě）以延長工具的壽命，而且還可（kě）以提高功效；

2)電阻率高(102Ω·cm~1014Ω·cm)、介電常數大、擊穿電壓高。利用這些特點，可將它（tā）製成理想的超高頻和微波波段的介質材料；

3)高摻雜性。由於其帶隙寬，有利（lì）於高集成化電子（zǐ）器（qì）件在高溫條件下使用，因此該薄膜在半導體行業應用（yòng）廣泛；

4)高頻、高音（yīn）速特性（xìng）良好。用DLC塗層製作的高頻揚聲器（qì）振動膜頻帶寬，其頻率（lǜ）特（tè）性高達60KHz，目（mù）前我司的音膜DLC塗（tú）層工藝已成熟並且（qiě）量產。

5)具有（yǒu）良（liáng）好的化學穩定性（xìng），耐腐蝕(防酸、堿、鹽)性能好，不僅可作為光學元件的增透（tòu）膜（mó）和（hé）保護膜，防止光學元件被飛砂擦傷或被酸、堿（jiǎn）、鹽（yán）溶液（yè）腐蝕，還應用於（yú）光盤保護膜、手表玻璃保護膜、眼鏡片(玻璃、樹脂)保護膜以及汽（qì）車擋風玻璃保護膜等；

6)熱導率高，約為銅的（de）6倍，熱膨脹係（xì）數小（xiǎo），具有好的抗熱（rè）衝擊性能。

7)具有良（liáng）好的（de）生物相容性，在醫學方麵（miàn）也有廣泛的應用。塗鍍在人工關節上轉動部位上的DLC薄膜不會因摩擦而產（chǎn）生磨損，更不會與肌肉（ròu）發生反（fǎn）應、可大幅度延長人工關節（jiē）的（de）使用壽命；

8)DLC薄膜在室溫下光致發光和電致發光率都很高，有可能（néng）在整個（gè）可見（jiàn）光範圍發光，因此可以用作性能極（jí）佳的發光材料之一（yī）。

二、DLC膜的製備技術（shù）

　　自20世紀70年代人們製備出DLC薄膜（mó）以來，目前已經開發了許多種沉積方法，但大體上（shàng）可以分（fèn）為（wéi）物理（lǐ）氣相沉積(PVD)和化學氣相沉（chén）積(CVD)兩（liǎng）大類（lèi）。PVD方法是在真（zhēn）空下加熱或離化蒸發材料(石墨)，使蒸發粒子沉積在基片表麵形成（chéng）薄膜的一種方法。按照加熱方（fāng）式不同，熱蒸發有激光蒸發、電弧蒸發、電子束加熱等方法。濺射沉積是用高能離子轟擊靶物質(石墨)，與靶表麵（miàn）原子發生彈性或非彈性碰撞，結果部（bù）分靶表麵原子或原子（zǐ）團濺射出來，沉積在（zài）基板上形成薄膜。CVD方法是在真空室內通入碳的氫化物、鹵化物、氧化物，通過（guò）氣體放（fàng）電，在一定條件下促使它們發生分解、聚合、氧化、還原等化學（xué）反應過程，在基板上形成DLC薄膜的方法。

a、製備DLC薄膜的 PVD 技術

1. 真空電弧離子鍍
2. 脈衝激光沉積
3. 濺射製備法
4. 非平衡磁控濺射方法
5. 其他沉積（jī）方法

b、製備（bèi）DLC薄（báo）膜的CVD技術

1. 射頻等離子體化學氣相沉（chén）積（jī）
2. 直流等離子體化學氣相沉積
3. 熱絲法
4. 直接光化學氣相沉積法
5. 電子回旋共振(ECR)沉（chén）積法
6. 其他沉積方法