物理(lǐ)氣相(xiàng)沉積(PVD) 是一種薄膜製備技術,可在真空條件下將材料源(固(gù)體或液體)表麵物理汽化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子。然後,通過低壓氣體(或等離子體)在基(jī)板表麵沉積具有特定功能的膜。物理氣相(xiàng)沉積(jī)的主要方法有真(zhēn)空蒸鍍、濺射沉積、電弧等離子鍍、離子鍍等。PVD薄膜沉積速度快、附(fù)著力強、衍(yǎn)射性能(néng)好、應用範圍廣。
DLC主(zhǔ)要采用PVD或PACVD工(gōng)藝(yì),在100℃~300℃的溫度下合成,具有良好的(de)耐磨性、潤滑性(xìng),且具有電氣絕緣、化學穩定性(xìng)和光透性。鍍膜可覆蓋鐵或非鐵金屬及(jí)塑料(liào)、陶瓷。主要碳素塗層根據氫含量和原(yuán)子間(jiān)的(de)結合構造分為DLC(a-C:H)、ta-C和Diamond塗層(céng)。
那麽PVD塗層與DLC塗層有哪些區別呢?今天納隆小編就從三個維度為大家分(fèn)析。
2. 塗層硬度不同:PVD塗層硬度大多在1000-4000HV之間,DLC塗層硬度一般為(wéi)2000HV-9000HV以上,具有更好的耐磨性、抗腐蝕(shí)性和潤滑性。
3.膜層的特性有所不同,PVD鍍(dù)膜後的膜層,具有耐磨損,耐腐蝕,顏色亮麗多樣,導電、絕(jué)緣等特性(xìng),DCL(膜層和PVD鍍膜相(xiàng)比,DLC膜層(céng)的硬度更高,摩擦係數(shù)更低,更耐腐蝕(shí),環保且抗(kàng)粘附性更好。
4.用途有所不同,PVD鍍膜廣泛應用於(yú)數碼產品(pǐn)、飾品、手表、智能穿戴產(chǎn)品、醫療(liáo)器械、半導體、消費類電子(zǐ)產品等領域,而DLC廣泛應用於機械功能領域,比(bǐ)如鑽頭、銑刀、模具及其輔助(zhù)模具、剪(jiǎn)刀、軸承、等領域。
5.塗層製備方法不同,PVD鍍: PVD鍍的方法有(yǒu),真空蒸鍍(dù)、濺射鍍膜、電弧等離子體鍍、離子鍍膜,及分子束外(wài)延等,DLC: DLC的方(fāng)法有真空蒸發(fā)、濺射、等離子體輔助(zhù)化(huà)學氣相沉積、離子注入等。
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