工藝溫度 80~150°C低(dī)溫塗層:含氫類金剛石(shí)DLC塗層
來源:技術(shù)支持(chí) | 發布日期:2024-01-27

含(hán)氫(qīng)類金剛石(shí)DLC塗層的(de)主要成份是碳,是一種兼有(yǒu)高硬度與優異摩擦性能的(de)非晶體(tǐ)硬質薄膜由石墨(SP2)與金剛石(SP3)組成。SP3金剛石的碳原子(zǐ)在空間構成(chéng)連續、堅固的骨架結(jié)構,所以堅硬,成正八麵體晶狀體。SP2石墨的碳原子呈平麵(miàn)層(céng)狀結構,層與層(céng)之間的作用力小,所以很軟,能導電(diàn),有滑感的(de)鱗(lín)片狀結構此類類金剛石(DLC)塗層通常由(yóu)含氫(H)氣體如乙(yǐ)炔C2H2,甲烷CH4經過(guò)PECVD的方式獲得.而且可以在較低工藝溫度下獲得,工藝溫度最低可以低於80°C,從而可以(yǐ)有效解決(jué)材料熱變形等缺陷(xiàn)。

含氫(qīng)類金(jīn)剛石(DLC)塗層

由於(yú)其優異的摩擦性能,在工業上得到廣泛應用。特別是在(zài)無(wú)潤滑劑情況下,摩擦係數也很低(µ=0.0050.2)含氫(qīng)類金剛石DLC塗層摩擦(cā)係數小,而且抗(kàng)粘附(fù)性好,硬度高、耐磨性優良。

 

類金剛石DLC塗層(céng)的特性

薄(báo)膜(mó)厚度:<=3um

摩擦係數:0.05~0.1

薄膜硬度:<30GPa (HV3000)

最(zuì)高使用溫度:350°C

薄膜顏色: 黑色/黑灰色

工藝溫度: 80~150°C

塗層結構: 納米(mǐ)單層/複合

 

【責任編輯】小編

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