類(lèi)金剛(gāng)石具(jù)有比較高的硬度、高導熱性、高絕(jué)緣(yuán)性、良(liáng)好的化學穩定性、從紅(hóng)外到紫(zǐ)外的高光學透過率和良好的減摩特性等。這(zhè)與金剛石相似(sì),但是,除減摩性(xìng)能優良外,其它性能(néng)均低於(yú)金剛石膜。類金剛石膜可廣泛用於機(jī)械、電子、光學、熱學(xué)、聲學、醫學等領域,並且作為減摩(mó)耐磨塗(tú)層應用於航空航天、金屬(shǔ)加工、醫療器件等(děng)眾(zhòng)多領域。
類金剛石塗(tú)層DLC是由碳和氫組(zǔ)成的非(fēi)晶態或納米晶態碳薄膜,具有類似天然金(jīn)剛石的結構和性質,DLC塗層的製備(bèi)方法和應用(yòng)因其結構和(hé)性質的差異而有所(suǒ)不同。
類金剛石(DLC)塗(tú)層的製備方法(fǎ)
化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、離子束沉積(IBAD)、射頻等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)。
不同類(lèi)型的(de)DLC塗層
含氫型(a-C:H): 含(hán)有較高比(bǐ)例的氫,具有較(jiào)高的抗刮擦性和較低的摩擦係數。適用於工具塗層(céng)、軸承等應用。
含碳型(a-C):含(hán)有較低比例的氫,具有較高的硬(yìng)度和耐磨性。適用於硬質(zhì)塗層、光學塗層等。
氮摻雜型(xíng)(a-C:N):含有氮元(yuán)素(sù),具有改(gǎi)善塗層硬度和(hé)抗氧化性的特性。適(shì)用於工具塗層、摩擦件等。
矽摻雜型(xíng)(Si-DLC):含有矽元(yuán)素,提高了塗層的化學惰性和熱穩定性,適用(yòng)於生(shēng)物醫學、電子器件(jiàn)等領域。
類金剛石(DLC)塗層的應用領域
機械(xiè)工業: 用於刀具、軸承、齒輪等零部件的表麵塗層,提高硬度和耐磨性。
醫學和生物醫學: 用於生物醫學設備(bèi)、人工關節、植(zhí)入物等,具有優異的生物(wù)相(xiàng)容性。
電子器件: 用於塗層電子器(qì)件表麵,提(tí)高硬度、耐磨性和化學(xué)穩定性。
光學塗層: 用於光學元件表麵,改善抗反射、硬度和耐磨性。
摩擦材料: 用(yòng)於提高摩擦材料表麵的性能(néng),如摩擦片、摩擦盤等。
新能源(yuán): 用於太陽能電池和鋰電池(chí)
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