類金剛石膜(DLC)在電子及(jí)微電子領域的(de)應(yīng)用
來源:公司動態 | 發(fā)布日期:2024-05-07

1980年以來(lái),類金剛石塗(tú)層作為新型鍍膜技術一直廣受歡迎(yíng),而我國在這(zhè)方麵也取得了一些進展,但與(yǔ)發達國家相比仍然還有差距。

類金剛石塗層目前有很多(duō)種類,一般(bān)類金剛(gāng)石塗層分(fèn)為氫化類金剛石碳膜(a-CH)和無氫類金剛石碳膜(a-C)兩大類,由於其結構工藝機(jī)理極為複雜,目前(qián)DLC塗層(céng)在(zài)高溫下會出現穩定性問題,比如在超過400度後DLC塗層會(huì)存在很大(dà)的內應力,也會降低其結合力,會是的DLC膜層出現起皺(zhòu),脫落。

類金剛石塗層

但是這也阻(zǔ)擋不了DLC塗層由於特殊的結構,兼備鑽石性能,所以它同時也擁有很多優異的性能,比如DLC塗層的抗磨性、化學惰性、沉積溫度低、膜麵光滑,可以將其作為一些電子產品的保護膜。

類金剛石DLC在(zài)電子行業的應用

如噴(pēn)墨打印機墨盒加熱層上(shàng)、磁(cí)存儲器的表(biǎo)麵、電器中的音膜、半(bàn)導體行業的電路板加一層類金剛石膜 DLC 保護層、不僅能有效的減少機械損傷,又不影響數據存儲。

類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子親和力(lì)等性能。人們將類金剛石膜用作(zuò)光刻電路板的(de)掩膜,不僅可以避免操作過程(chéng)中的機械損(sǔn)傷,還可以在去除薄膜表麵的汙染(rǎn)物(wù)允許用較激烈的機械或化學腐蝕方法,且且同時不會破壞薄膜的表麵。

采用(yòng)類金剛石膜和碳膜交替出現的(de)多層膜結構構造成的多量子阱結構,具有共振隧道效應的和獨特的電特性,在微電子領域(yù)有著潛在的應用前景。類金剛石膜具有良好的表麵平麵光滑度,電子發射均勻性好,即使在較低的外電場作用(yòng)下,也可產生較大的發(fā)生電(diàn)流,這個性(xìng)能在平板顯示器中有著特殊的使用價值(zhí)。

【責任編輯】小編

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