1、硬度及彈性模量。

類（lèi）金剛石塗層（DLC），是一種四麵非晶體碳,其sp3鍵含量（liàng）為80%~90%，sp³與sp²鍵的比值較高，膜層內的（de）成分（fèn）對膜層的硬度有一定的影響， Si、N的（de）摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低於金剛石（110GPa），但明顯高於一般金屬和（hé）陶瓷的彈（dàn）性模量。

2、內應（yīng）力和結合強度。

薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜（mó）的穩定性和使用壽命，影響薄（báo）膜性能的兩個重要因素，內應力高和結合強度低的DLC膜容易在（zài）應用中產生裂紋、褶皺，甚至脫落，所以製備的DLC膜最好具有適中的壓應力（lì）和較（jiào）高的結（jié）合強度。大部分（fèn）研（yán）究表明，直接在基體上沉積的DLC膜的膜基結（jié）合強度一般比較低，通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結合強度，在模具鋼上（shàng）沉積DLC膜的結（jié）合強度達44N-74N，製備的膜（mó）導總體厚度（dù）可達5um。

3、摩（mó）擦性能
DLC膜不僅具有優異的耐磨性，而且具有很低（dī）的摩擦係數，一般低於0.05，是一種優異的表麵抗（kàng）磨損改性膜。DLC膜與傳統的硬質薄膜相比，在摩擦係（xì）數方麵具（jù）有明顯（xiǎn）優勢（shì），這些傳統（tǒng）硬質薄膜的摩擦係數都（dōu）在0.4以上。因此，DLC膜有可能在許多摩擦學領域替代這些傳統（tǒng）硬膜。製備（bèi）的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨損性能及低達0.13-0.15的摩擦係數（shù）。

像微（wēi）型機械驅動器具（jù）有運動的部分，如微型發動機、齒輪、軸承，在運行（háng）過程中會經曆表麵的緊（jǐn）密接合。在微尺度下，粘性剪切力特別高，所以液態潤滑劑（jì）不再是降低摩擦的（de）有效途（tú）徑。以（yǐ）Si為基礎的微型（xíng）電動機、微型發動（dòng）機僅能正常運行幾分鍾接著就會因為摩擦（cā）而導致崩（bēng）潰。DLC塗層（céng）擁有很低的摩擦係數並且磨耗率(每單位滑動距離的磨耗量)也很低，使它們成為MEMS設備（bèi）理想的固態潤滑劑。實驗階段的線性電動機，滑動件表（biǎo）麵覆（fù）蓋（gài）了5~15nm厚的DLC層（céng），延長了部件的使用（yòng）壽命至(15~80）×106個周期。盡管大多數的MEMS馬（mǎ）達（dá）並不應用於腐（fǔ）蝕（shí）性的（de）空氣環境中，但它們還是會通過物理吸附作用來接觸到外界腐蝕環境，這個過程則會使材料（liào）的摩擦耐磨性能產生相當大的波動。四麵（miàn）體非晶碳膜(ta-C)在這方麵的表（biǎo）現比含氫非晶碳膜(a-C：H)優越，它們的摩擦係數在（zài）真空及幹燥環境下較高，但卻在相當的（de）範圍內表現得很穩定，即使在濕度增加的環境中也沒有顯著增加。

4、耐腐蝕性
純（chún）DLC膜具有優異的耐蝕性，各類（lèi）酸、堿甚至王水（shuǐ）都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕（shí）性有所下降，這是由於摻雜（zá）的元素首先被侵蝕，從而破壞了膜的連續性所致。