納(nà)隆類金剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作(zuò)保護塗層。通過向(xiàng) DLC 塗層中摻(chān)雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質(zhì),而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層(céng)結構。這種多層結構不但(dàn)可(kě) 以沉積厚膜(mó),而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增(zēng)強其(qí)抗腐蝕性能。
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