納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗(kàng)腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性(xìng)和(hé)低的(de)摩擦係(xì)數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通(tōng)過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以(yǐ)進一 步提(tí)高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻入(rù) 量,沉積低應力的多層(céng)結構。這種多層結構不但可 以沉積(jī)厚(hòu)膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以(yǐ)增強其(qí)抗腐(fǔ)蝕(shí)性能。
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