納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗(kàng)磨(mó) 損性和低的摩擦係數等優異性能,被(bèi)廣(guǎng)泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜(zá) Si 元素(sù)不僅可(kě)以進一 步提高塗層的性質,而且還可(kě)以通(tōng)過控製(zhì) Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結構。這(zhè)種(zhǒng)多層結構不(bú)但可 以沉(chén)積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路(lù)徑,以增強其抗腐蝕性能。
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