納隆類金剛石碳基塗層(céng)因其高的抗腐蝕性、化學(xué)惰性、抗磨 損性和低的摩(mó)擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而(ér)且還可以通過控製 Si 的(de)摻入 量,沉積低應力的多(duō)層結構。這種多層結構不但可 以沉積厚(hòu)膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以(yǐ)增強其抗腐蝕性能。
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