納隆類金剛(gāng)石碳基塗(tú)層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數等(děng)優(yōu)異性能,被廣泛(fàn)用作保護塗層(céng)。通過向 DLC 塗層中摻(chān)雜 Si 元素(sù)不僅(jǐn)可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製(zhì) Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結構。這種多層(céng)結構不但可 以沉積厚(hòu)膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強(qiáng)其抗腐蝕性能。
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