納隆類金剛(gāng)石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低(dī)的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護(hù)塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高(gāo)塗層的(de)性質,而且(qiě)還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力(lì)的多層結構。這種(zhǒng)多層結構不但可 以(yǐ)沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離(lí)子的擴散路徑,以(yǐ)增強其抗腐蝕性能。
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