納隆類金剛石碳基塗(tú)層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦(cā)係數等優異(yì)性能,被廣泛用作保(bǎo)護塗層。通過(guò)向 DLC 塗層中摻(chān)雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製(zhì) Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結構。這種多層結構不但(dàn)可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離(lí)子的擴散路徑(jìng),以(yǐ)增強其抗腐蝕性能。
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