納隆(lóng)類金剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕(shí)性、化學惰性、抗(kàng)磨 損性和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以(yǐ)進一 步提高塗層的性質,而且還(hái)可以通過控製 Si 的摻(chān)入 量,沉積低應力的多層結構。這種多層結(jié)構不但可 以沉積厚膜,而(ér)且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗(kàng)腐蝕性能。
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