納(nà)隆類金剛石(shí)碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨(mó) 損性和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過(guò)向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅(jǐn)可以進一 步(bù)提高塗層的性質,而且還可(kě)以通過控製 Si 的摻入 量(liàng),沉積低應力的多層結構。這種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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