納隆類金剛石碳基塗層因其高(gāo)的(de)抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩(mó)擦係數(shù)等優異性能,被(bèi)廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元(yuán)素不僅可以進一 步提高(gāo)塗層的性質,而且還可以通(tōng)過控(kòng)製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結構。這種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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