DLC薄膜通常是非晶的,由sp2(石墨)和(hé)sp3(金剛石)相的混合(hé)物組成。膜性能的控製強烈地依賴(lài)於所選擇(zé)的沉積技術(PVD濺射或蒸發和Pa-CVD)的通(tōng)量特性、膜內的金屬和氫含量、sp2:sp3比、襯底偏置電壓、離子能量和離子密(mì)度以及襯底溫度。DLC膜對鋼的摩(mó)擦(cā)係數一(yī)般在(zài)0.05-0.20之間,而膜硬度和sp3含量可以根據具體應用而定製。含金屬和氫的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV範圍內具(jù)有35%SP3的(de)硬度,無金屬DLC(C-DLC或a-C:H)通常為1500-4000HV和高達(dá)75%SP3,而四麵體非(fēi)晶碳(ta-C)在4000-9000HV範圍內具有80-85%SP3。
鋁及(jí)其合金材料具(jù)有重量輕、強(qiáng)度大、加(jiā)工(gōng)方便(biàn)的(de)特性,在當今工業領域具(jù)有廣泛的應用。但是由於鋁本(běn)身(shēn)比較(jiào)活潑的化學(xué)特性,其在應用中常常麵臨受環境影響快速腐蝕進而失效的問題。因此,對(duì)鋁及其合金進行表麵處(chù)理,從而隔絕基材與(yǔ)環境,對於提高其耐磨加硬(yìng)自潤(rùn)滑能力非常重要。鋁及其合金在各領域(yù)應用的深入,對於耐磨加硬性塗層本身也提出了各種更高的要求(qiú),例如更強的自(zì)潤滑能力、耐磨性、表觀的均勻性(xìng)及耐溫性(xìng)等等。
經DLC表麵處理的鋁件零件,其耐磨性會明顯提(tí)高,DLC技術為鋁及其合(hé)金的耐(nài)磨加硬提供了一種選擇。因此DLC表麵處理工藝在機械工業受到高(gāo)度重視,以模具鋼為(wéi),經過DLC表麵處理的高速(sù)鋼在不同條件下摩擦磨損性(xìng)能的差異(yì),采用失重法評估耐(nài)磨性,試驗結果表(biǎo)明:在(zài)高速和低速摩擦(cā)磨損試驗條件下,無論在油潤滑狀態還(hái)是在幹摩擦狀態,經DLC表麵處理後高速鋼的耐磨(mó)性能(néng)都有明顯的提高。
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